Số TT | Tên thiết bị | Ứng dụng | Chi tiết thiết bị | Xuất xứ/Hãng SX | Người phụ trách |
01 | Hệ phún xạ 
| - Chế tạo màng mỏng và các linh kiện điện tử | Hệ bao gồm: - Buồng tạo plasma - Tủ điều khiển - 2 bơm turbo và 2 bơm cơ học - 2 nguồn AC, 2 nguồn DC - Máy tính điều khiển - Hệ thống làm mát - Khí Ar, N2 - Khí nén | ACT Orion Sputtering System (Mỹ) | Nguyễn Duy Cường, Email: cuong.nguyenduy@hust.edu.vn |
02 | Hệ thống lò ôxy hóa 
| - Oxy hóa phiến Si. | Hệ bao gồm: - Lò nung nhiệt độ tối đa 1250C - Hệ thống hút thải khí - Khí O2, N2 | RCH Asociates (Mỹ) | Nguyễn Duy Cường |
03 | Hệ tạo nước sạch 
| - Tạo nước sạch/siêu sạch | - Tốc độ: 1.8 lít/phút - Độ dẫn tại 25°C: 0.005microS/cm - Điện trở tại 25°C: 18.3M-Omh-cm | Cole-Parmer (Đức) | Nguyễn Duy Cường |
04 | Hệ quay phủ 
| - Tạo màng mỏng từ các dung dịch | | Laurell (Mỹ) | Nguyễn Duy Cường |
05 | Bể rửa hóa học 
| - Rửa làm sạch phiến | - Tủ và chậu rửa thí nghiệm ướt bằng vật liệu Polypropylene - Súng phun nước - Súng phun khí Nitơ | Clean Zones (Mỹ) | Nguyễn Duy Cường |
06 | Tủ lạnh âm sâu 
| Lưu trữ bảo quản hóa chất, mẫu ở nhiệt độ thấp | - Dung tích: 160 lít - Nhiệt độ thấp nhất: -18°C | Haier (Trung Quốc) | Nguyễn Duy Cường |
07 | Hệ tạo khí N2 sạch 
| - Tách lọc khí N sạch từ không khí | | Đan Mạch | Nguyễn Duy Cường |
08 | Hệ huỳnh quang 
| - Phân tích tính chất quang của vật liệu. Có khả năng đo các phép đo sau: - Đo bức xạ huỳnh quang từ 180 nm đến 1550 nm - Đo hấp thụ huỳnh quang từ 250 nm đến 750 nm - Đo thời gian sống của hạt tải - Các phép đo quang ở nhiệt độ thấp | - Bàn quang học - Ba bộ tán sắc bao gồm 2 bộ tán sắc ánh sáng phát ra từ mẫu, 01 bộ tán sắc cho đèn Xenon - Đèn Xenon - 01 CCD, 01 IAG, 02 PMT detector - Bộ phận đo thời gian sống hạt tải - 05 Nano LED - Kính lọc bước song các loại | Horiba (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng, Email: hung.nguyenduy@hust.edu.vn |
09 | Hệ huỳnh quang phân giải cao 
| - Phân tích tính chất quang của vật liệu với độ phân giải cao - Đo bức xạ huỳnh quang từ 180 nm đến 1650 nm - Đo và phân tích Raman - Đo và phân tích thời gian sống của hạt tải - Các phép đo quang ở nhiệt độ thấp | - Bàn quang học chống rung - Hệ tán sắc phân giải cao với f=1000 mm - Dao động ký tần số cao - Hệ thống gương và thấu kính - Kính lọc bước sóng các loại | Horiba (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng, Email: hung.nguyenduy@hust.edu.vn |
10 | Dao động ký tần số cao 
| - Thiết bị phụ trợ cho đo thời gian sống của phát xạ huỳnh quang. | - Số kênh: 4 - Thời gian tăng: 10% - 90%: 300 ps, 20% - 80%: 200 ps hoặc trong khoảng tương đương nhưng ≤ 350ps - Tốc độ lấy mẫu: 5 GS/s / kênh - Tốc độ lấy mẫu lặp lại: 50 GS/s | LECROY (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng |
11 | Laser xung năng lượng cao 
| - Kích thích mẫu trong các phép đo huỳnh quang | - Phát xung laser ở các bước sóng: 1064 nm, 532 nm, 355 nm và 266 nm với các thông số sau: - Kiểu dao động: TEM00 master oscillator - Tín hiệu: TTL signals - Tần số: ≥10Hz - Năng lượng: + ≥ 50 mJ tại 1064 nm + ≥ 25 mJ tại 532 nm + ≥10 mJ tại 355 nm + 5 ≥ mJ tại 266 nm | EKSPLA (Lithuania) | Nguyễn Duy Hùng |
12 | Đo kích thước chùm tia 
| - Xác định kích thước chùm tia laser | - Cho phép xác định kích thước chùm tia laser liên tục và xung - Đầu thu : Si-UV enhanced - Đường kính đầu thu: 9 mm -Kích thước khe thu: 5 μm -Dải bước sóng đo: ≤200 nm - ≥1100 nm -Độ rộng chùm tia có thể đo: ≤ 20 μm - ≥ 9 mm | Thorlabs (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng |
13 | Thiết bị đo năng lượng/công suất cao 
| - Đo công suất chùm tia laser | - Đầu đo pin nhiệt diện tích rộng, đường kính 10 mm - 20 mm - Đĩa graphite mật độ cao - Độ đồng đều: ± 1% over central 8 mm - Dải bước sóng: 190 nm - 25 μm - Thất thoát công suất cực đại: 3W - Dải công suất quang: 10 mW - 10W | Thorlabs (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng |
14 | Lò nung vuông 
| - Nhiệt độ lớn nhất 1300°C. - Tự động ngắt khi quá trình làm việc kết thúc | - Nung các vật liệu phục vụ cho quá trình nghiên cứu xúc tác | Nabertherm (Đức) | Phạm Hùng Vượng |
15 | Lò ống 
| - Nhiệt độ lớn nhất 1100°C. - Tốc độ nâng nhiệt: 50C/phút - Tự động ngắt khi quá trình làm việc kết thúc | - Tổng hợp vật liệu có kích thước thấp chiều bằng phương pháp bốc bay nhiệt | NBD (Trung Quốc) | Phạm Hùng Vượng |
16 | Lò ống 
| - Nhiệt độ lớn nhất 1200°C. - Tốc độ nâng nhiệt: 50C/phút - Tự động ngắt khi quá trình làm việc kết thúc | - Tổng hợp vật liệu có kích thước thấp chiều bằng phương pháp bốc bay nhiệt | Nabertherm (Đức) | Phạm Hùng Vượng |
17 | Lò ống CVD nhiệt độ cao 
| - Nhiệt độ lớn nhất 1300°C. - 03 bộ điều chỉnh lưu lượng khí cho các khí N2, O2 và forming gas - Tự động ngắt khi quá trình làm việc kết thúc | - Tổng hợp vật liệu có kích thước thấp chiều bằng phương pháp CVD nhiệt | Nabertherm (Đức) | Phạm Hùng Vượng |
18 | Thiết bị nghiền hành tinh 
| - Nghiền vật liệu | | Retsch (Đức) | Phạm Hùng Vượng, Email: vuong.phamhung@hust.edu.vn |
19 | Máy ly tâm 
| - Tách vật liệu kích thước nm từ dung dịch | - Tốc độ tối đa: 18000 vòng/phút - Dung tích lớn nhất: 300 ml | Hettich (Đức) | Nguyễn Thị Lan |
20 | Tủ sấy chân không 
| - Hút và sấy các vật liệu, dụng cụ thiết bị hóa học | - Có thể điều chỉnh nhiệt độ sấy, tốc độ gia nhiệt, thời gian sấy - Cho phép các vật liệu chứa axit - Thể tích buồng làm việc: 19.8 lít - Nhiệt độ làm việc: Nhiệt độ phòng – 200°C - Chân không: 762-0 mmHg | Cole-Parmer (Mỹ) | Nguyễn Thị Lan |
21 | Bể siêu âm 
| - Rung siêu âm rửa, phân tán vật liệu | - Hai tần số siêu âm: 25 kHz, 45 Hz - Nhiệt độ: 30 – 85 °C - Thể tích bể cực đại: 30 lít | Telsonic (Switzerland) | Nguyễn Thị Lan |
22 | Tủ hút 
| - Hút khí thải, khí độc thoát ra trong quá trình điều chế vật liệu, sấy và nung các vật liệu | Hệ thống quạt hút công suất lớn, tích hợp đèn chiếu sáng, hệ thống nước rửa và hệ thống điện cho các thí nghiệm | ESCO (Singapore) | Nguyễn Thị Lan |
23 | Máy khuấy từ gia nhiệt 
| - Khuấy trộn và gia nhiệt trong quá trình khuấy trộn mẫu | Tốc độ khuấy tối đa: 1200 vòng/phút Khả năng gia nhiệt đến 370°C Thể tích khuấy tối đa: 15 lít | Velp(Ý) | Nguyễn Thị Lan |
24 | Máy khuấy dùng cánh khuấy 
| - Khuấy trộn vật liệu dùng cánh khuấy/que khuấy | - Tốc độ khuấy: 50 – 1300 vòng/phút - Thể tích khuấy tối đa: 15 lít - Độ nhớt tối đa cho phép: 1000 mPa.s - Lực xoắn tối đa: 17 Mcm | Velp(Ý) | Nguyễn Thị Lan |
25 | Cân phân tích 
| - Cân vật liệu trong quá trình chế tạo vật liệu | - Dải cân: 210g - Độ chính xác 10-4g | A&D (Nhật Bản) | Nguyễn Thị Lan |
26 | Thiết bị đo độ nhớt 
| - Đo độ nhớt động học sử dụng phương pháp điều chỉnh thanh mẫu | - Dải tần rung: 30Hz - Dải đo: 0.3-10 Pa.s - Độ chính xác: 1% giá trị đọc | A&D (Nhật Bản) | Nguyễn Duy Hùng |
27 | Keithley 
| - Nguồn điều chỉnh cho các linh kiện điện tử | - Keithley - Máy tính kết nối | Keithley (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng |
28 | Hệ điện hóa 
| - Đo các đặc trưng của sensor điện hóa | -Bộ đo điện hóa -Máy tính và phần mềm đo -Máy khuấy từ gia nhiệt | Zahner (Đức) | Nguyễn Duy Hùng |
29 | Thiết bị phân tích đa chức năng 
| - Đo đạc chính xác các đặc trưng của linh kiện bán dẫn | -Màn hình hiển thị cài đặt sử dụng Win XP -Bàn phím điều khiển -Cáp kết nối | Keithley (Mỹ) | Nguyễn Duy Hùng |
30 | Thiết bị đo điện trở 4 đầu dò 
| - Đo các thông số IV, CV của các linh kiện điện tử | - Bàn chống rung - Hệ bốn mũi dò - Kính hiển vi | Cascade Microtech (Mỹ) | Dương Thanh Tùng, Email: tung.duongthanh@hust.edu.vn |
31 | Máy đo từ kế mẫu rung (VSM) 
| - Đo tính chất từ (đường cong từ trễ; ZFC/FC, từ trở (MR)...) | - Mẫu đo từ: dạng bột, màng, lỏng, khối, dây. - Mẫu đo từ trở: màng mỏng kích thước 3x9 mm - Độ lớn từ trường: 2,2 T - Dải nhiệt độ đo: -77 K - 1000 K | MicroSence EZ9 (Mỹ) | Nguyễn Thị Lan, Email: lan.nguyenthi1@hust.edu.vn |
32 | Máy đo hiệu ứng Hall (Lakeshore 7607) 
| - Xác định các thông số Hall (điện trở, điện thế, độ linh động Hall) của các loại vật liệu bán dẫn có dạng bột ép, màng.
- Xác định loại bán dẫn (n và p) và nồng độ hạt tải
- Xác định độ linh động của hạt tải
| - Hình thái mẫu chuẩn Van der Pauw, thanh Hall (4, 6, hoặc 8 tiếp xúc).
- Kích thước mẫu :(1 x 1) cm và (5 x 5) cm
- Độ lớn từ trường : 1.6 T ở nhiệt độ phòng, 1.2 T ở nhiệt độ thấp
- Khoảng đo theo nhiệt độ : 15 K - 300 K
- Độ nhạy : R : 10 mOhm - 10 MOhm, I : 50 nA - 1 A.
| Lakeshore (Mỹ) | Dương Thanh Tùng, Email: tung.duongthanh@hust.edu.vn Đoàn Quảng Trị, Email: tri.doanquang@hust.edu.vn |